INFICON電容薄膜規(guī)的特點：
1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
2、在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強測量
3、快速的預熱和恢復時間,提高生產率
4、的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復性
5、由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
6、對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定
7、快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩(wěn)定和進入 準備使用狀態(tài)
8、一鍵按鈕: 調零功能和設點調整
9、抗腐蝕超純陶瓷傳感器
10、能經受數(shù)百萬次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象
11、暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
12、對蒸氣介質不敏感
13、傳感器屏蔽 ()延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命
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